臺階輪廓測試儀kia-tencor在半導體的應用

儀器簡介：
 

應用：
◆薄膜厚度測量；
◆樣品表面形貌測量；
◆薄膜應力測量；
◆樣品表面粗糙度/波紋度測量；
◆樣品表面三維形貌測量等。

技術參數：
 

KLA-Tenco探針式臺階儀，可測量納米級至2毫米臺階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力，集高測量精度、多功能性和經濟性于一體，是生產線及材料分析等應用領域的理想選擇。因其具有6.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及分辨率,

主要特點：
 

◆Alpha-Step IQ采用天然金剛石作為探頭，經久耐用。探針更換簡便、快速，軟件具有保護測針以免發(fā)生損壞功能；
◆探針掃描是雙向的，即可以從左向右，又可以從右向左；
◆無論何時只要測針下伸的時間超過 60 秒，但仍然沒有開始掃描，測針將自動升起；
◆當測針達到其測量范圍的上*，測針自動縮回，掃描終止；（備注：當測針達到其上*，屏幕上的跡線停止上升，而變?yōu)樗剑?br />◆為了安全起見，可以用程序設置升降器，使其僅可以降低到一個預設的限制；
◆可為用戶提供中文操作界面，可以提供中文操作手冊；
◆軟件界面友好，簡單易學，功能大。