OLED用顯微鏡

更新時間：2021-01-13

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產(chǎn)品名稱：OLED用顯微鏡
產(chǎn)品簡介：OLED用顯微鏡是利用金屬光激發(fā)OLE后測量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量測著重于度，系統(tǒng)底座采用鑄件/花崗石本體結構，減震系統(tǒng)克服環(huán)境震動問題，可解決高倍率解析時的震動問題。系統(tǒng)采用XY軸光學尺模塊可實現(xiàn)跨距量測。光學系統(tǒng)采用熒光顯微鏡光路實現(xiàn)對OLED的激發(fā)。人性化計算機量測模式，有效提高觀察定位效率。專為使用者設計機型，使操作更便利、測量更迅速。

產(chǎn)品特點：

手動量測系統(tǒng)XY采用精密無牙螺桿傳動，減少齒輪傳動偏移誤差
線性馬達/伺服馬達用于自動化量測傳動系統(tǒng)，能實現(xiàn)高精度測量
系統(tǒng)采用被動式or主動式減震系統(tǒng)，能克服環(huán)境震動問題，可解決高倍率解析時的震動問題
系統(tǒng)使用熒光顯微光路，有效激發(fā)OLED發(fā)射光譜
系統(tǒng)使用人體工學設計理念設計，符合友好化測量
設備應用：

設備主要應用OLED的顯微分析和蒸鍍測量上

量測工具	點,線,圓,弧,橢圓,槽型,曲線等各項不規(guī)則外型取樣
形位公差	真圓度,同心度,垂直度,傾斜度,位置度,等各項形位公差設置
UV功能驗證	UV光源下圖像清晰
斷面測量	按照PO spec要求進行測試并保存結果
自動計算offset	根據(jù)蒸鍍有機材料的位置與設定的蒸鍍位置對比,計算offset;或者是將UV光圖像位置和上光源下圖片位置對比,計算offset
UV光和鹵素光自動切換	在軟件中點擊切換按鈕后,可以自動切換光源并呈現(xiàn)相應的圖像
SPC	軟件須附帶SPC功能,量測之數(shù)據(jù)須能自動導出作分析
報表輸出	軟件可客制化輸出客戶所需之 EXCEL,TXT,WORD,JPG

7.3.2 設備配置&特征 7.3.2System Configuration& Characteristic	外部尺寸：LWH≤250025002000mm External Size: LWH≤250025002000mm
	測量行程：XY≥750*650mm Z≤100mm
	重量：≤5000kg
	承重：≥10kg Capacity: ≥10kg
	高測量度：XYZ≤1μm Maximum Accuracy: XYZ≤1μm
	機臺重復性：≤1μm Machine Repeatability:≤1μm
	XYZ小移動距離：XYZ≤1um XYZ minimum move distance: XYZ≤1um
	XYZ移動精度: XYZ≤1um XYZ move precision: XYZ≤1um
	XYZ軸移動速度: XYZ≤200mm/s XYZ Speed: XY≤200mm/s
7.3.3機械本體 7.3.3 Mechanics

	*光學放大倍率：5X/10X/20X/50X/100X
	光源特征：光源可以采用鹵素燈、汞燈，壽命滿足SPEC要求
	7.3.5電控系統(tǒng)、 7.3.5 Control System	電機：直流伺服電機 Dynamo:DC servo motor
	7.3.5電控系統(tǒng)、 7.3.5 Control System	操作類型：鼠標和操作手柄，按鍵 Control Type: Mouse and Joystick
	7.3.6軟件系統(tǒng) 7.3.6 Software System	功能:點，直線，圓，弧，橢圓，槽等測量功能，帶有線追蹤功能，粒子計數(shù)，軟件定位系統(tǒng)，軟件控制光源亮度，軟件控制電動鼻輪，軟件控制孔徑光闌
		圖像：可復制，可進行大面積圖形無縫拼接 Image: can copy
		數(shù)據(jù)格式：JPG/Excel Data format: JPG/Excel
7.3.7 其它 7.3.7 Others	防微振裝置:達到VC-B級別的防震平臺 Anti-vibration device: Yes
7.3.7 其它 7.3.7 Others	*靜電防護：離子風棒