白光干涉測厚儀的基本原理

白光干涉測厚儀是用來測量材料及物體厚度的儀表。在工業(yè)生產(chǎn)中常用來連續(xù)或抽樣測量產(chǎn)品的厚度（如鋼板、鋼帶、薄膜、紙張、金屬箔片等材料）。設(shè)計(jì)、安裝測厚儀時要在可能的條件下盡量靠近工作輥，目的是降低板厚的滯后調(diào)整時間?？梢杂脕碓诰€測量軋制后的板帶材厚度，并以電訊號的形式輸出。該電訊號輸給顯示器和自動厚度控制系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)對板帶厚度的自動厚度控制。

白光干涉測厚儀的基本原理：

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

白光干涉測厚儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。

白光干涉測量法已被用來測量微間隙的厚度。采用這種方法來顏值浮動塊。浮動塊作為磁傳感器的載體，它與磁盤表面考得很近。如果正確設(shè)計(jì)浮動塊的表面形狀，并在其上施加適當(dāng)?shù)妮d荷，由于在旋轉(zhuǎn)的盤片上存在附面層，于是在浮動塊下形成自起作用的空氣軸承。